ElektroPrůmysl.cz AUTOMATIZACE, ŘÍZENÍ A REGULACE 52 | prosinec 2022 Měříme v sub-nanometrech s Micro-Epsilon - interferoMETER Nejen díky rozvoji nanotechnologie, kdy je potřeba měřit opravdu malé polovodičové součástky, má Micro-Epsilon ve svém portfoliu optické interferometrické měřící systémy. Interferometr dosahuje sub-nanometrického rozlišení při zachování relativně velkého měřícího rozsahu a offsetu, který umožňuje větší vzdálenost od měřeného cíle. Pro představu, průměr lidského vlasu se pohybuje v desítkách tisíc nanometrů. Princip fungování Micro-Epsilon se zabývá vývojem interferometrů více než deset let, nicméně princip samotný je znám již od konce 19. století, kdy byl roku 1881 světu představen první interferometr fyzikem Alberetem Abrahamem Michelsonem. Díky superpozici světelných vln a jejich interferenci lze měřit jedním senzorem vzdálenost všech materiálů a tloušťku transparentních. Světelné vlny musí být ve fázi, tzn. o stejné frekvenci, zdroj světla je tedy naprosto stabilní. Referenční vlnová délka je porovnávána s vlnovými délkami odrazů od povrchu měřeného materiálu. Vychází se tak z principu fungování běžnějšího laserového interferometru, ale zatímco laserové interferometry pracují pouze s jednou vlnovou délkou, naše interferometry na bázi bílého světla pracují s vlnovým pásmem, tedy malou částí IR spektra (délka 840 nm se šířkou pásma 50 nm). Měření vzdálenosti Reference vzniká díky zrcátku umístěnému v hlavě senzoru u interferometrů pro měření vzdálenosti ISM5400-DS a ISM5600-DS. Systém je tak kompaktní a snadno přenositelný. Interferometr se sestává ze sondy, optického vlákna a kontroléru. Z kontroléru je emitováno bílé světlo, které prochází světlovodem přes senzor s čočkami a výše zmíněným referenčním zrcátkem. Odraz od povrchu měřeného objektu je pak porovnáván s odrazem od referenčního zrcátka a fázový posuv amplitud vlnového pásu nám umožní celkovou analýzu interferenčního vzorku pro vysoce přesné změření vzdálenosti a to v měřícím rozsahu 2,1 mm s ofsetem kolem 19 mm. Měření tloušťky Verze interferometru označená ISM5400-TH je vyvinutá pro měření tloušťky transparentních materiálů. Hlava senzoru již nemá referenční zrcátko, porovnávají se vlnová pásma jednotlivých odrazů mezi sebou. Měření tloušťky tak probíhá absolutně, výsledkem je rovnou hodnota bez kalkulaNejvýkonnější interferoMETER ISM5600 s rozlišením pod 30 pm
RkJQdWJsaXNoZXIy Mjk3NzY=