ElektroPrůmysl.cz MĚŘICÍ, ZKUŠEBNÍ A MONITOROVACÍ TECHNIKA 44 | prosinec 2021 Sledování kvality vnitřního prostření Monitorování kvality ovzduší v komerčních i nekomerčních prostorech je relativně nové a je rozšířením monitorování kvality ovzduší v průmyslovém prostoru, kde se zrodilo především proto, aby řešilo problémy s výtěžností při výrobě polovodičů v 60. a 70. letech 20. století v USA a Japonsku. Tak vznikly i v průmyslu první tak zvané „čisté prostory“, jako výsledek stále se zvyšujících požadavků na čistotu prostředí. Čisté prostory v nemocnicích, na operačních sálech a infekčních odděleních začaly být budovány však dávno před tím, již přibližně před stoletím. Částice nečistot přesahující určitou velikost (určenou geometrií procesu vyráběných zařízení) v rozvíjejícím se polovodičovém průmyslu způsobovaly poruchy a selhávání polovodičových čipů. Jak polovodičový průmysl rostl, geometrie prvků klesaly a objemy výroby prudce stoupaly, stávalo se stále důležitějším doladit výrobní procesy. Bylo třeba specifikovat proces pomocí parametrů, které by bylo možné měřit pomocí nějakého „standardního“ přístroje. Bohužel v té době žádný takový standard neexistoval. Výsledky měření počtu částic přístroji té doby se dramaticky lišily přístroj od přístroje, výrobce od výrobce. V důsledku této situace a tlaku výrobců polovodičů vznikla mezinárodní norma ISO 21501-4, která má specifikovaných 11 základních požadavků na vlastnosti přístroje. Splněním všech požadavků této normy je zajištěna opakovatelnost výsledků měření, jejich srovnatelnost napříč přístroji i výrobci. Normou je zajištěn i způsob ověřování přístrojů. Pokud tedy snímač přístroje vyhovuje normě ISO21501-4, pak zajišťuje potřebnou úroveň parametrů. Snímače, které nejsou v souladu s normou ISO21501-4, mohou mít vážné problémy s uváděním přesných počtů částic. Tak jak rostly požadavky na kvalitu a zpřesňovala se výrobní technologie, nastala potřeba ověřovat čistotu prostředí i v ostatních oborech průmyslu i veřejných budovách. Vzniklo mnoho regulatorních nástrojů, jako je například norma ČSN EN ISO 14 644. Vlivem postupného znečišťování životního prostředí vznikla potřeba ověřovat i výskyt, počet a hmotnosti pevných a dalších částic jak ve vnitřním, tak i ve vnějším prostředí. V současné době existuje několik norem pro kvalitu vnitřního i vnějšího prostředí, které zahrnují nejen limity pro počet a hmotnost pevných částic, ale například i limity CO2 ve vnitřním prostředí. Obr. 1 Monitor prostředí Particles Plus® 5301-AQM
RkJQdWJsaXNoZXIy Mjk3NzY=